1.涡流-当载有高频电流的探头线圈置于被测金属表面时，由于高频磁场的作用而使金属体内产生涡流，校准试样公司，此涡流所产生的磁场又反作用于探头线圈，使其阻抗发生变化，此变化量与探头线圈离金属表面的距离（即覆盖层的厚度）有关，因而根据探头线圈阻抗的变化可间接测量金属表面覆盖层的厚度。常用于测定铝材上的氧化膜或铝、铜表面上其他绝缘覆盖层的厚度。
2.同位素-利用物质厚度不同对辐射的吸收与散射不同的原理，可以测定薄钢板、薄铜板、薄铝板、硅钢片、合金片等金属材料及橡胶片，塑料膜，纸张等的厚度。常用的同位素射线有γ射线、β射线等。
覆层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，校准试样机构，厚度差测量法，称重法，x射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中有五种是有损检测，测量手段繁琐，校准试样，速度慢，多适用于抽样检验。 x射线和β射线法是无接触无损测量，校准试样，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有射线源，使用者必须遵守射线防护规范。x射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
1. 复型测量法 一种间接的测量方法，通过将可塑性材料充满在人工缺陷内，经过凝固成型后取出，直观、形象、逼 真地再现人工缺陷的立体形貌，取点、线、断面采用相应精度的量具对人工缺陷长度、宽度、---测量，获 得人工缺陷的尺寸数据。
2. 显微测量法 直接通过读数显微镜对人工缺陷放大后，以光学成像或---方法---边缘轮廓或表面，通过x、y、z轴在缺陷上移动的距离直接测量人工槽的长度、宽度、---及通孔的直径。
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